发明名称 发光二极管P型掺杂层生长方法
摘要 本发明提供一种发光二极管P型掺杂层生长方法。该方法包括:在衬底上生长核层,在核层上生长非掺杂结构层,在非掺杂结构层上生长N型掺杂层,在N型掺杂层上生长量子阱发光层,在量子阱发光层上生长P型掺杂层,其中,P型掺杂层中包括铝氮化镓ALGaN和氮化铝ALN的超晶格结构。由于P型掺杂层中包括ALGaN和ALN的超晶格结构,可以有效地避免电流直接进入外延量子阱层,有效提高了LED的光电性能。进一步的,还可以有效降低制造成本。
申请公布号 CN104900767A 申请公布日期 2015.09.09
申请号 CN201510161411.3 申请日期 2015.04.07
申请人 圆融光电科技股份有限公司 发明人 焦建军;黄小辉;周德保;康建;梁旭东
分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L21/02(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 陶敏;黄健
主权项 一种发光二极管P型掺杂层生长方法,其特征在于,包括:在衬底上生长核层;在所述核层上生长非掺杂结构层;在所述非掺杂结构层上生长N型掺杂层;在所述N型掺杂层上生长量子阱发光层;在所述量子阱发光层上生长P型掺杂层;其中,所述P型掺杂层中包括铝氮化镓ALGaN和氮化铝ALN的超晶格结构。
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