一种夹持机构垂直工艺位置的控制装置

摘要

本实用新型涉及硅片清洗工艺技术领域，尤其涉及一种夹持机构垂直工艺位置的控制装置。其包括可编程计算机控制器以及设置在工艺腔室内的夹持机构与光电传感器，所述光电传感器与所述夹持机构对应设置，用于感应所述夹持机构的垂直位置并输出信号，所述可编程计算机控制器与所述光电传感器连接，用于接收所述光电传感器输出的信号，所述可编程计算机控制器连接并控制所述夹持机构。通过光电传感器感应夹持机构的相应高度位置并输出信号，由可编程控制器对信号处理，并反馈控制夹持机构，从而实现在线实时调整夹持机构的垂直工艺位置，以满足不同的工艺要求，提高产率和质量，该装置结构简单，安全可靠，易于操作。

主权项

一种夹持机构垂直工艺位置的控制装置，其特征在于，包括可编程计算机控制器以及设置在工艺腔室内的夹持机构与光电传感器，所述光电传感器与所述夹持机构对应设置，用于感应所述夹持机构的垂直位置并输出信号，所述可编程计算机控制器与所述光电传感器连接，用于接收所述光电传感器输出的信号，所述可编程计算机控制器与所述夹持机构连接，用于控制所述夹持机构。