冷阱及冷阱的控制方法

摘要

本发明提供一种冷阱及冷阱的控制方法，其目的在于能够实现冷阱的连续运行。本发明的冷阱（10）具备2个能够独立控制的冷却单元（20，22）。冷阱（10）配置于将真空腔室（16）连接在涡轮分子泵（12）的排气流路（14）。第1冷却单元（20）包含：露出于排气流路（14）而配置的第1板单元（26）；及热连接于第1板单元（26）并对冷却第1板单元（26）进行冷却的第1制冷机（24）。第2冷却单元（22）包含：露出于排气流路（14）而配置的第2板单元（30）；及热连接于第2板单元（30）并对第2板单元（30）进行冷却的第2制冷机（28）。第1板单元（26）远离第2板单元（30）而配置。

主权项

一种冷阱，其具备能够独立控制的多个冷却单元，且配置于将排气对象容积与真空泵连接的排气流路内，其特征在于，各冷却单元包括：板单元，其露出配置于所述排气流路；及制冷机，其与所述板单元热连接并对所述板单元进行冷却，各冷却单元的板单元与其他冷却单元的板单元远离配置于所述排气流路内，所述冷阱还具备罩部，且该罩部热连接于相邻的2个板单元中的任意一个，并且至少局部性地覆盖上述2个板单元的间隙。