发明名称 一种易降解环保型硅片清洗剂及其制备方法
摘要 本发明实施例公开了一种易降解环保型硅片清洗剂及其制备方法,该易降解环保型硅片清洗剂的成分包括10-25重量份的表面活性剂、1-4重量份的碱、0.2-2重量份的分散剂、0.5-2重量份的消泡剂以及70-85重量份的去离子水。实施本发明实施例,具有如下有益效果:本发明的易降解环保型硅片清洗剂清洗能力强,易于生物降解,避免了会产生危害的挥发性有机物,同时产生的泡沫量较少。
申请公布号 CN104893848A 申请公布日期 2015.09.09
申请号 CN201510311783.X 申请日期 2015.06.09
申请人 武汉宜田科技发展有限公司 发明人 洪育林;张震;李文文;安冠宇;张冠;刘辉
分类号 C11D1/831(2006.01)I;C11D3/60(2006.01)I;C11D3/37(2006.01)I;C11D3/04(2006.01)I 主分类号 C11D1/831(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种易降解环保型硅片清洗剂,其特征在于,所述易降解环保型硅片清洗剂的成分包括10‑25重量份的表面活性剂、1‑4重量份的碱、0.2‑2重量份的分散剂、0.5‑2重量份的消泡剂以及70‑85重量份的去离子水。
地址 438400 湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园