发明名称 |
GaN基LED外延结构及其制作方法 |
摘要 |
本发明提供一种GaN基LED外延结构及其制作方法,所述外延结构包括依次层叠的成核层、未掺杂GaN层、高温N型GaN层、低温N型GaN层、多量子阱结构、AlGaN层、低温P型AlInGaN层、P型电子阻挡层及P型GaN层。采用所述低温N型GaN层取代传统LED外延结构中的超晶格结构,由于所述低温N型GaN层的生长温度较低,会使得所述低温N型GaN层内的C元素的含量较高,又所述低温N型GaN层不含In元素,这不仅可以有效地降低外延电压,还可以有效地改善LED器件的漏电和反向电压,进而提高LED芯片的品质。 |
申请公布号 |
CN104900769A |
申请公布日期 |
2015.09.09 |
申请号 |
CN201510166452.1 |
申请日期 |
2015.04.09 |
申请人 |
映瑞光电科技(上海)有限公司 |
发明人 |
马后永;琚晶;李起鸣;张宇;徐慧文 |
分类号 |
H01L33/02(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/02(2010.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
余明伟 |
主权项 |
一种GaN基LED外延结构,其特征在于,所述外延结构包括依次层叠的成核层、未掺杂GaN层、高温N型GaN层、低温N型GaN层、多量子阱结构、AlGaN层、低温P型AlInGaN层、P型电子阻挡层及P型GaN层。 |
地址 |
201306 上海市浦东新区临港产业区新元南路555号金融中心211室 |