自适应烘烤系统及其使用方法

摘要

本发明提供了一种自适应烘烤系统，包括：配置为接收晶圆的烘烤腔室，以及配置为支持晶圆的加热元件。自适应烘烤系统还包括配置为接收与加热元件和晶圆相关的温度信息的控制器，其中，控制器还配置为在烘烤工艺期间响应于温度信息调整由加热元件提供的热量的量。本发明还提供了自适应烘烤系统的使用方法。

主权项

一种自适应烘烤系统，包括：烘烤腔室，配置为接收晶圆；加热元件，配置为支持所述晶圆；以及控制器，配置为接收与所述加热元件和所述晶圆相关的温度信息，其中，所述控制器还配置为在烘烤工艺期间响应于所述温度信息调整由所述加热元件提供的热量的量。