一种高灵敏度多气体检测的气敏传感器

摘要

本发明公开一种高灵敏度多气体检测的气敏传感器，所述气敏传感器是以纳米氧化镍为气敏材料，其特点在于，所述纳米氧化镍是通过包括如下步骤得到：（1）采用三电极体系在ITO玻璃上电化学沉积镍原子层：工作电极为ITO玻璃，辅助电极为Ni，参比电极为饱和甘汞电极，电解液为硫酸镍水溶液；（2）步骤（1）沉积镍原子层后的ITO玻璃在空气气氛下于350～380℃处理60～90min，冷却，超声处理，得到具有玫瑰花状形貌的所述纳米氧化镍。与现有以纳米氧化镍作为气敏材料的气敏传感器相比，本发明的气敏传感器可显著提高对气体的检测灵敏度，特别是浓度低至20ppm以下的灵敏度。

主权项

一种高灵敏度多气体检测的气敏传感器，所述气敏传感器是以纳米氧化镍为气敏材料，其特征在于，所述纳米氧化镍是通过包括如下步骤得到：（1）采用三电极体系在ITO玻璃上电化学沉积镍：工作电极为ITO玻璃，辅助电极为Ni，参比电极为饱和甘汞电极，电解液为硫酸镍水溶液；（2）步骤（1）沉积镍后的ITO玻璃在空气气氛下于350～380℃处理60～90min，冷却，超声处理，得到具有玫瑰花状形貌的所述纳米氧化镍。