| 摘要 |
<p>본 발명은 기판의 상면에 다층복합막을 형성할 수 있는 다층복합막 형성장치 및 이를 이용한 다층복합막 형성방법에 관한 것으로, 기판을 이송시키는 이송수단과, 상기 이송수단에 의하여 이송되는 기판상에 박막을 형성할 수 있도록 일측에 상기 기판이 외부로 노출될 수 있는 개구면을 구비한 반응챔버 및 외부로부터 공급되는 반응가스를 포함한 다수개 가스 각각이 체류하는 복수의 가스저장셀이 상기 개구면과 순차적으로 연통될 때 상기 기판에 상기 가스를 공급하도록, 상기 기판의 폭 방향을 따라 배치되어 회전 구동하는 가스공급수단으로 이루어지는 원자층박막 증착장치와; 기판을 이송시키는 이송수단과, 상기 이송수단에 의하여 이송되는 기판상에 박막을 형성할 수 있도록 일측에 상기 기판이 외부로 노출될 수 있는 개구면을 구비한 반응챔버 및 상기 개구면을 통하여 반응원료를 상기 기판에 공급하여 증착반응이 발생하도록 하는 반응원료 공급수단으로 이루어지는 유동성박막 증착장치가 상호 교번적으로 배치되도록 함으로써, 기판의 상면에 다층복합막을 연속적으로 신속하게 형성할 수 있도록 함으로써 기판에 설치되는 소자의 유기물을 외부의 산소나 수분으로부터 보호함과 동시에 기판이 휘어지거나 굽어질 때 다층복합막이 깨어지거나 균열이 발생하지 않도록 하며 다층복합막의 증착 이전에 기판 위에 미세 먼지나 불순물이 놓여 있더라도 균일하게 피복이 이루어지도록 하는 효과가 있다.</p> |
