- GRATING FOR EUV-RADIATION METHOD FOR MANUFACTURING THE GRATING AND WAVEFRONT MEASUREMENT SYSTEM
摘要
<p>EUV-방사선에 대한 격자는 복수의 반사 라인들을 포함한다. 각각의 반사 라인은 서로 교번하여 배치된 복수의 제 1 반사 도트들 및 복수의 제 2 반사 도트들을 포함한다. 제 1 반사 도트들 및 제 2 반사 도트들은 180±10 도 mod 360 도의 상호 위상 차로 EUV-방사선을 반사시키도록 구성된다.</p>
