发明名称 MONOMER HAVING ELECTRON-WITHDRAWING SUBSTITUENT AND LACTONE SKELETON POLYMERIC COMPOUND AND PHOTORESIST COMPOSITION
摘要 <p>본 발명은 하기 화학식 (1)로 표시되는 전자 흡인성 치환기 및 락톤 골격을 포함하는 단량체를 제공한다.(화학식 중, R는 수소 원자, 탄소수 1 내지 6의 알킬기 등을 나타내고, R은 할로겐 원자, 할로겐 원자를 가질 수도 있는 탄소수 1 내지 6의 알킬기 등을 나타내고, A는 탄소수 1 내지 6의 알킬렌기, 산소 원자, 황 원자 또는 비결합을 나타내고, m은 0 내지 8의 정수를 나타내고, X는 전자 흡인성 치환기를 나타내고, n은 1 내지 9의 정수를 나타내고, Y는 탄소수 1 내지 6의 2가의 유기기를 나타냄) 상기 단량체는 레지스트용 수지 등에 응용한 경우에 내약품성 등의 안정성을 유지하면서, 유기 용제에 대한 용해성이 우수하여, 가수분해성 및/또는 가수분해 후의 물에 대한 용해성을 향상할 수 있는 고기능성 고분자 등의 단량체 성분 등으로서 유용하다.</p>
申请公布号 KR101550947(B1) 申请公布日期 2015.09.07
申请号 KR20107018773 申请日期 2009.02.03
申请人 发明人
分类号 C07D307/93;C08F20/36;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 C07D307/93
代理机构 代理人
主权项
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