CERAMIC SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
<p>세라믹 기판 및 이의 제조방법이 제공되고, 본 발명의 일 구현예에 따른 세라믹 기판은 알루미늄을 포함하고, 서로 마주보는 상부 표면(upper surface) 및 하부 표면(lower surface)을 갖는 질화물 층을 포함하고, 질화물 층의 내부에서 상부 표면에 가까워질수록 질소 농도가 낮아지고, 질화물 층 내부에서 상부 표면에 가까워질수록 산소원자, 수소원자, 또는 염소원자의 농도가 높아지는 것일 수 있다.</p>
