| 摘要 |
<p>本発明は、プラズマによるコーティングプロセスで反応性ガス消費量を判定する方法に関するものであり、次の各ステップを有している：ａ）コーティング室に反応性ガスが取り込まれ、相応の反応性ガス流が測定されると同時に、プラズマを点火することなく、コーティング室内で生じている分圧が測定され、ｂ）コーティング室に反応性ガスが取り込まれ、相応の反応性ガス流が測定されると同時に、コーティング室内で生じている分圧が測定され、その際にはプラズマが点火される、そのような方法において、−ステップａ）およびｂ）が複数の異なる反応性ガス流で実施され、そのようにして反応性ガス流・分圧依存性をプラズマがあるときでもプラズマがないときでも判定することができ、−所与の分圧で、プラズマがないときに判定された反応性ガス流値が、プラズマがあるときに判定された反応性ガス流値から差し引かれ、その差異が反応性ガス消費量と同一視される。</p> |
