| 摘要 |
<p>소형화해도 전기 특성의 열화나 주파수 파수의 상승을 초래하지 않는 적층형 압전 소자, 및 중송 검지용 센서를 실현한다. 적층형 압전 소자(11)는 압전 소자층(11B)과 정합층(11A)을 포함한다. 압전 소자층(11B)은 압전체층(11B2)과 전극층(11B1)을 복수층에 걸쳐 적층한 구성이다. 정합층(11A)은 압전 소자층(11B)에 적층되어 있고, 압전 소자층(11B)과는 다른 음향 임피던스를 가지고 있다. 압전 소자층(11B)에 있어서의 음속을 Vp, 정합층(11A)에 있어서의 음속을 Vm, 압전 소자층(11B)의 두께 치수를 Tp, 정합층(11A)의 두께 치수를 Tm으로 하여, Vp/Vm=Tp/Tm이다. 또한 폭방향의 치수를 W로 하면 Tp+Tm>W이다.</p> |
