| 发明名称 |
Objektiv für Lithographieverfahren und Verfahren zur Herstellung |
| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Objektiv für Lithographieverfahren umfassend – wenigstens einen optischen Modulator, – wenigstens ein photoempfindliches Material und – wenigstens ein streuendes Medium. |
| 申请公布号 |
DE102014102712(A1) |
申请公布日期 |
2015.09.03 |
| 申请号 |
DE201410102712 |
申请日期 |
2014.02.28 |
| 申请人 |
TECHNISCHE UNIVERSITÄT KAISERSLAUTERN |
发明人 |
FREYMANN, GEORG VON;WALLER, ERIK;VICTOR, SILVER STAR |
| 分类号 |
G03F7/20;G02B13/14;G02B17/08;G02B26/06 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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