| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum optischen Bestimmen eines Abstandes (A) zwischen einer an einer Vorrichtung (1) gebildeten Öffnung (7) und einer Referenzfläche (8), umfassend die Schritte: Beleuchten der Referenzfläche (8) durch die Öffnung (7) hindurch mittels mindestens eines Beleuchtungsstrahls (17a, 17b), der unter einem Winkel (α,–α') durch die Öffnung (7) hindurchtritt, Aufnehmen mindestens eines Bildes der Referenzfläche (8) durch die Öffnung (7) hindurch, sowie Bestimmen des Abstandes (A) anhand eines Versatzes (V) zwischen einem von dem Beleuchtungsstrahl (17a, 17b) beleuchteten Bereich (22) der Referenzfläche (8) und einer Randkontur (9) der Öffnung (7) in dem mindestens einen aufgenommenen Bild. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung (1) zur optischen Bestimmung des Abstandes (A) zwischen einer an der Vorrichtung (1) gebildeten Öffnung (7) und einer Referenzfläche (8). Die Öffnung (7) kann insbesondere an einer Bearbeitungsdüse (6) gebildet sein. Bei der Referenzfläche (8) kann es sich um eine Werkstückoberfläche handeln.</p> |
