ＥＵＶ光源内のシードレーザをブラッグＡＯＭで保護するためのシステム及び方法

摘要

レーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）極紫外線（ＥＵＶ）光システム内のシードレーザを保護する方法及び装置を開示する。一実施形態において、ブラッグＡＯＭは、シードレーザから他の光学構成要素まで、かつ最終的に照射部位までのビーム経路上のスイッチとして使用される。電力がブラッグＡＯＭに印加され、シードレーザからのパルスは、従って、ブラッグＡＯＭを真っ直ぐに通過するのではなく望ましいビーム経路上に偏向される。パルスがブラッグＡＯＭを通過した状態で、照射部位からのいずれの反射もブラッグＡＯＭを真っ直ぐに通過し、偏向されてシードレーザに戻らないことになるように、ブラッグＡＯＭへの電力が中止される。以前に使用された構成要素ではなくブラッグＡＯＭの使用は、より低い電力消費及びシードレーザのためのより良い保護をもたらす。【選択図】 図１