| 发明名称 |
表面処理方法 |
| 摘要 |
表面処理方法が提供される。本発明は、表面の上の被覆層の、具体的にはブロック共重合体の、ナノ及びマイクロメーターのスケールの組織に対するガイドとして役立つ、レリーフ促進オーダー及び空間コヒーレンスにおける表面の、光度の空間分布による、処理のための方法に関する。【選択図】なし |
| 申请公布号 |
JP2015525467(A) |
申请公布日期 |
2015.09.03 |
| 申请号 |
JP20150513246 |
申请日期 |
2013.05.23 |
| 申请人 |
アルケマ フランス;ユニヴェルシテ・ドゥ・ボルドー |
发明人 |
ナヴァロ， クリストフ;アイス， カリム;ブロション， シリル;ディレール， ステファン;フルーリー， ギヨーム;グロービー， ステファン;ハジオアノウ， ジョルジュ;ランヌー， ジャン−ミシェル;シェーバー， ジョナ |
| 分类号 |
H01L21/027;B82Y40/00;C08F293/00;G03H1/02 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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