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Ein Verfahren zum laserinduzierten Fügen eines ersten, glasartigen Fügepartners mit einem zweiten Fügepartner mithilfe ultrakurzer Laserpulse, umfasst folgende Verfahrensschritte: – Positionieren der beiden Fügepartner (5, 6) mit einem Spalt (S) zwischen ihren zu fügenden Oberflächen (7, 8) in einer Fügeebene (FE), – Einstrahlen eines Bearbeitungsstrahls (2, 14) eines Ultrakurzpuls-Lasers (1, 16) in den glasartigen Fügepartner (5) mit dem Fokus (9) nahe der Fügeebene (FE) unter Bildung einer Schmelzezone (10) und einer niedrigviskosen Zone (11) im glasartigen Fügepartner (5) derart, dass die räumliche Ausdehnung der niedrigviskosen Zone (11) und die thermische Ausdehnung der Schmelzezone (10) ein Aufwölben (12) der Oberfläche (7) des glasartigen Fügepartners (5) unter Reduzierung des Spaltes (S) zum zweiten Fügepartner (8) hin auf ein Maß (S) zur Erzielung eines optischen Kontaktes der Fügepartner (5, 6) verursacht, und – Anhaften der Fügepartner (5, 6) aufgrund der im Bereich der Fügezone (13) wirkenden Van-der-Waals-Kräfte zwischen den Fügepartnern (5, 6), – wobei ein fokussierter Ultrakurzpuls-Laserstrahl (2, 14) in die Schmelzezone (10) eingestrahlt wird, so dass dort zusätzlich Gasblasen (15) erzeugt werden, deren Volumenvergrößerung die Aufwölbung (12) der Oberfläche (7) des glasartigen Fügepartners (5) und die Reduzierung des Spaltes (S) zwischen den Fügepartnern (5, 6) unterstützt. |
