ETCHING SOLUTION

摘要

본 발명은 고온 조건하에서도 구리층과 절연층의 밀착성을 확실하게 유지할 수 있을 뿐만 아니라, 광범위한 절연재에 대하여 밀착성을 향상시킬 수 있는 에칭액을 제공한다. 황산, 과산화수소 및 물을 포함하는 구리 에칭액이며, 페닐테트라졸류 및 니트로벤조트리아졸류를 포함하는 에칭액으로 한다.