发明名称 CLOSE-TYPE EXPOSURE APPARATUS
摘要 <p>본 발명은 디스플레이형 팬 어셈블리 장치에 관한 것으로, 회전 검출센서가 일체화 된 쿨링 팬, 회전 상태 LED(Light Emitting Diode) 모듈, 인터락 LED 모듈, 알람 히스토리 LED 모듈 및 히스토리 리셋 모듈을 포함하고, 상기 회전 검출센서에 의하여 검출된 펄스 신호를 센싱하여 상기 회전 상태 LED 모듈, 상기 인터락 LED 모듈 및 상기 알람 히스토리 LED 모듈을 통해 상기 쿨링 팬의 상태를 디스플레이하는 센서부 및 상기 쿨링 팬과 상기 센서부를 연결하는 신호 케이블을 포함한다. 따라서 디스플레이형 팬 어셈블리 장치는 높은 발열이 발생하는 반도체 생산 설비에 부착되어 쿨링 팬의 정상 작동 여부를 쉽게 식별가능하며, 쿨링 팬의 급작스런 기능 정지로 인한 설비의 손상을 방지하여 설비의 유지 및 보수비를 절감할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101549652(B1) 申请公布日期 2015.09.03
申请号 KR20130140064 申请日期 2013.11.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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