一种图案匹配方法、装置及线宽测量机

摘要

本发明实施例公开了一种图案匹配方法，用于线宽测量机的测量过程中，包括如下步骤：读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案；将所述测量样本上的所述每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比；如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配成功，进行后续的线宽测量过程；否则判定所述图案匹配失败。本发明实施例还公开了相应的图案匹配方法以及线宽测量机。根据本发明的实施例，可以提高进行线宽测量时的图案匹配的准确性和成功率。

主权项

一种图案匹配方法，用于线宽测量机的测量过程中，其特征在于，包括如下步骤：读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板；将所述测量样本上的所述每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同；如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配成功，进行后续的线宽测量过程；否则判定所述图案匹配失败；其中，如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配完成的步骤具体为：将所述测量样本上的标准图案与对应的每个设计原图进行比较，如果其中至少一个相似度达到预定比值，则判定所述测量样本上的标准图案与所述设计原图比对成功，所述预定比值为预先设定。