发明名称 搬送机构
摘要 本发明提供一种搬送机构,其能够以足够的面对保持于保持工作台的工件的周围的环状的框架进行按压,从而能够可靠地进行将框架定位于比工件的上表面靠下方的位置的动作。搬送机构包括:工件单元保持构件、搬送构件以及下降构件,工件单元保持构件具有:环部(按压部),其具有对环状框架从上表面侧向下方按压的按压面;保持盘,其通过从按压面向下方凸出的吸附面来吸引保持框架的上表面;和板簧(弹性部件),其弹性支承保持盘,使从按压面向下方凸出的吸附面通过受到在下压框架时产生的外力而能够移动至与该按压面相同的高度,搬送构件将该工件单元保持构件定位于与工作台构件对应的位置,下降构件使工件单元保持构件下降,以使框架与钩部卡合。
申请公布号 CN102117758B 申请公布日期 2015.09.02
申请号 CN201010557819.X 申请日期 2010.11.22
申请人 株式会社迪思科 发明人 山中聪
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;B24B37/34(2012.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 陈坚
主权项 一种搬送机构,其用于将工件单元搬入至工作台构件,所述工件单元通过将工件经由粘接带支承于环状的框架的开口部而构成,所述工作台构件具有保持工作台和钩部,所述保持工作台以所述工件配置于上侧的状态保持所述工件单元的与所述工件对应的区域,所述钩部将所述框架保持成定位于比所述工件的上表面靠下方的位置的状态,所述搬送机构的特征在于,所述搬送机构包括:工件单元保持构件,其具有:按压部,该按压部具有对所述框架从上表面侧向下方进行按压的按压面,该按压面与所述框架的整个上表面接触;保持盘,该保持盘通过从所述按压面向下方凸出的吸附面来吸引保持所述框架的上表面;和弹性部件,该弹性部件弹性地支承所述保持盘,以使从所述按压面向下方凸出的所述吸附面通过受到在下压所述框架时产生的外力而能够移动至与所述按压面相同的高度;搬送构件,其将所述工件单元保持构件定位于与所述工作台构件对应的位置;以及下降构件,其使所述工件单元保持构件下降,以使所述框架与所述钩部卡合。
地址 日本东京都