| 发明名称 | 金刚石线锯装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及金刚石线锯装置和方法，提供了一种金刚石线锯装置(100)，其用于切割锭(302、304、306、308)。该金刚石线锯装置包括适用于相对于所述锭移动的金刚石线(230)，以及金刚石线缺陷检测系统(1)，其被配置成向所述金刚石线(230)施加交流信号。此外，提供了用于操作金刚石线锯装置来切割锭的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN103252846B | 申请公布日期 | 2015.09.02 |
| 申请号 | CN201210439545.3 | 申请日期 | 2012.10.30 |
| 申请人 | 应用材料瑞士有限责任公司 | 发明人 | 纳吉布·艾尔·哈达欧 |
| 分类号 | B28D5/04(2006.01)I | 主分类号 | B28D5/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 张欣 |
| 主权项 | 一种金刚石线锯装置(100)，其用于通过金刚石线(230)来切割锭(302、304、306、308)，其中金刚石线锯适用于相对于所述锭移动所述金刚石线，所述金刚石线锯装置包括：金刚石线缺陷检测系统(1)，其配置成向所述金刚石线(230)施加交流信号。 | ||
| 地址 | 瑞士洛桑市 | ||