| 发明名称 | (甲基)丙烯酸系共聚物及光致抗蚀剂用感光性材料 | ||
| 摘要 | 本发明涉及(甲基)丙烯酸系共聚物及光致抗蚀剂用感光性材料。本发明的(甲基)丙烯酸系共聚物，其是将下式(II)表示的(甲基)丙烯酸酯的一种以上与其他聚合性单体共聚而得到的，式中，R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>分别表示氢原子或碳数1～6的直链状、分支状或环状的烃基，R<sup>3</sup>表示氢原子、甲基或三氟甲基，n、m分别为0～3的整数，n与m不能同时为0。<img file="788174dest_path_image001.GIF" wi="312" he="96" /> | ||
| 申请公布号 | CN104877067A | 申请公布日期 | 2015.09.02 |
| 申请号 | CN201510231284.X | 申请日期 | 2011.03.16 |
| 申请人 | 大阪有机化学工业株式会社 | 发明人 | 田中慎司;上野山义崇;大野英俊;河野直弥;伊藤克树 |
| 分类号 | C08F220/18(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I;C08F220/32(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C08F220/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 高旭轶;刘力 |
| 主权项 | (甲基)丙烯酸系共聚物，其是将下式(II)表示的(甲基)丙烯酸酯的一种以上与其他聚合性单体共聚而得到的：<img file="286371dest_path_image001.GIF" wi="340" he="108" />式中，R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>分别表示氢原子或碳数1～6的直链状、分支状或环状的烃基，R<sup>3</sup>表示氢原子、甲基或三氟甲基，n、m分别为0～3的整数，n与m不能同时为0。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||