| 发明名称 | 一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种光刻机工件台，包括水平向模块、微动模块、预对准模块和衬底交接模块，其特征在于：所述微动模块包括多个重力补偿器，多个绝对位置传感器，多个光栅尺传感器以及微动板；所述多个绝对位置传感器用于工件台的垂向位置回零；所述多个光栅尺传感器用于工件台的垂向伺服控制。本发明提出的一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法，提高了工件台相对整机的垂向零位稳定性，解决了由于垂向回零不准导致的工件台垂向运动精度差的可靠性不足的问题，同时还为光栅尺垂向装调过程带来了便利。 | ||
| 申请公布号 | CN104880911A | 申请公布日期 | 2015.09.02 |
| 申请号 | CN201410070238.1 | 申请日期 | 2014.02.28 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 廖飞红;朱岳彬;贾海立;胡书平 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G05B19/404(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种光刻机工件台，包括水平向模块、微动模块、预对准模块和衬底交接模块，其特征在于：所述微动模块包括多个重力补偿器，多个绝对位置传感器，多个光栅尺传感器以及微动板；所述多个绝对位置传感器用于工件台的垂向位置回零；所述多个光栅尺传感器用于工件台的垂向伺服控制。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||