| 主权项 |
一种用于将结晶状硅晶圆纹理化的蚀刻组成物，包括按组成物总量计为：0.1至20重量％的碱性化合物；2至10重量％的沸点为100℃以上的环状化合物；0.000001至10重量％的氟系界面活性剂；以及剩余为水，其中该沸点为100℃以上的环状化合物选自由哌嗪、N‑甲基哌嗪、N‑乙基哌嗪、羟乙基哌嗪、N‑(2‑氨基乙基)哌嗪、N,N’‑二甲基哌嗪、吗啉、N‑甲基吗啉、N‑乙基吗啉、N‑苯基吗啉、N‑可可基吗啉、N‑(2‑氨基乙基)吗啉、N‑(2‑氰基乙基)吗啉、N‑(2‑羟基乙基)吗啉、N‑(2‑羟基丙基)吗啉、N‑乙酰基吗啉、N‑甲酰基吗啉、N‑甲基吗啉‑N‑氧化物、甲吡啶、N‑甲基哌啶、3,5‑二甲基哌啶、N‑乙基哌啶、N‑(2‑羟基乙基)哌啶、N‑甲基‑4‑哌啶酮、N‑乙烯基‑2‑哌啶酮、N‑甲基吡咯烷、N‑甲基吡咯烷酮、N‑乙基‑2‑吡咯烷酮、N‑异丙基‑2‑吡咯烷酮、N‑丁基‑2‑吡咯烷酮、N‑叔丁基‑2‑吡咯烷酮、N‑己基‑2‑吡咯烷酮、N‑辛基‑2‑吡咯烷酮、N‑苄基‑2‑吡咯烷酮、N‑环己基‑2‑吡咯烷酮、N‑乙烯基‑2‑吡咯烷酮、N‑(2‑羟基乙基)‑2‑吡咯烷酮、N‑(2‑甲氧基乙基)‑2‑吡咯烷酮、N‑(2‑甲氧基丙基)‑2‑吡咯烷酮、N‑(2‑乙氧基乙基)‑2‑吡咯烷酮、N‑甲基四氢咪唑酮、二甲基四氢咪唑酮、N‑(2‑羟基乙基)‑伸乙脲、四氢呋喃、四氢糠醇、N‑甲基苯胺、N‑乙基苯胺、N,N‑二甲基苯胺、N‑(2‑羟基乙基)苯胺、N,N‑双‑(2‑羟基乙基)苯胺、N‑乙基‑N‑(2‑羟基乙基)苯胺、N,N‑二乙基‑邻甲苯胺、N‑乙基‑N‑(2‑羟基乙基)‑间甲苯胺、二甲基苄胺、γ‑丁内酯、甲苯三唑、1,2,3‑苯并三唑、1,2,3‑三唑、1,2,4‑三唑、3‑氨基‑1,2,4‑三唑、4‑氨基‑4H‑1,2,4‑三唑、1‑羟基苯并三唑、1‑甲基苯并三唑、2‑甲基苯并三唑、5‑甲基苯并三唑、苯并三唑‑5‑碳酸酯、硝基苯并三唑、与2‑(2H‑苯并三唑‑2‑基)‑4,6‑二‑叔丁基酚所组成的群组中的一种或多种，其中，所述蚀刻组成物为适用于浸渍型、喷雾型及单片型蚀刻程序的液体。 |
