炭化珪素単結晶基板の製造方法,申请号JP20120021115-传众专利搜索

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发明名称	炭化珪素単結晶基板の製造方法
摘要
申请公布号	JP5772635(B2)	申请公布日期	2015.09.02
申请号	JP20120021115	申请日期	2012.02.02
申请人		发明人
分类号	H01L21/304;B24B37/00;C30B29/36;C30B33/10	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
地址

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