硬盘用铝硅酸盐玻璃基板的制造方法

摘要

本发明提供一种硬盘用铝硅酸盐玻璃基板的制造方法，包括使用研磨液组合物来研磨被研磨铝硅酸盐玻璃基板的工序，所述研磨液组合物含有二氧化硅粒子、具有磺酸基的聚合物、和水，并且所述具有磺酸基的聚合物的相对于铝硅酸盐玻璃的吸附常数为1.5～5.0L/g。所述具有磺酸基的聚合物优选为具有芳香族环的聚合物。所述具有磺酸基的聚合物的重均分子量优选为3000～100000。

主权项

一种硬盘用铝硅酸盐玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括使用研磨液组合物来研磨被研磨铝硅酸盐玻璃基板的工序，所述研磨液组合物含有二氧化硅粒子、具有磺酸基的聚合物、和水，并且所述具有磺酸基的聚合物相对于铝硅酸盐玻璃的吸附常数为1.5～5.0L/g，所述具有磺酸基的聚合物的吸附常数按照以下方法测定而得，即，将所述具有磺酸基的聚合物以使其浓度为0～5000ppm的方式添加到离子交换水中，向所得的25℃下的水溶液20g中加入盐酸而将其pH调整为1.5，向该水溶液中添加0.5g的将铝硅酸盐玻璃基板粉碎而得的粒径5μm的铝硅酸盐玻璃粒子，搅拌后，使用Kokusan公司制H‑28F离心分离机以3500rpm离心分离15分钟，然后，使铝硅酸盐玻璃粒子沉降，用岛津制作所制TOC‑500测定存在于上清液中的总碳数浓度，使用测定出的碳浓度、和用已知浓度的所述具有磺酸基的聚合物制成的校准线，算出上清液中的所述具有磺酸基的聚合物浓度c，从加入浓度中减去该c，算出所述具有磺酸基的聚合物的吸附量A，将所述具有磺酸基的聚合物的添加量和向铝硅酸盐玻璃粒子上的吸附量A绘制成曲线图，使用下式(1)算出25℃的吸附常数K，$\frac{c}{A}=\frac{1}{{\mathrm{KA}}_m}+\frac{c}{A_m}---\left(1\right)$而且，利用上述式(1)，将x轴设为c，将y轴设为c/A，绘制各测定结果，根据斜率1/A_m算出饱和吸附量A_m，根据y截距1/KA_m算出吸附常数K。