发明名称 扫描电镜样品台
摘要 本实用新型公开了一种扫描电镜样品台,包括样品台,还包括转向柱,转向柱的一端与所述样品台的底部固定连接,另一端旋转连接于一底座上,使样品台相对于底座具有旋转自由度。本实用新型通过在样品台的底部设置转向柱,使样品台相对于底座具有旋转自由度,从而可以带动样品台连续大角度旋转,实现连续的多角度观察。
申请公布号 CN204614760U 申请公布日期 2015.09.02
申请号 CN201520290865.6 申请日期 2015.05.07
申请人 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 发明人 李琰琪;王栩生;邢国强
分类号 H01J37/20(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I 主分类号 H01J37/20(2006.01)I
代理机构 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人 陆金星
主权项 一种扫描电镜样品台,包括样品台(8),其特征在于:还包括转向柱(4),转向柱的一端与所述样品台的底部固定连接,另一端旋转连接于一底座(1)上,使样品台相对于底座具有旋转自由度。
地址 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号