用于将材料引入材料处理系统的托架系统

摘要

本发明公开了一种用于将材料引入材料处理系统的托架系统。在各个特征方面和实施例中，本公开涉及用于容纳并保持前驱物材料的托架系统。托架系统可以用于材料处理系统内以用于在衬底上形成保护涂层。托架系统可以包括包含多个容座的托架。托架系统可以还包括多个杯体，配置每个杯体以可移除地位于托架的容座内。

主权项

一种用于保持前驱物材料的托架系统，包括：托架，其包括多个区段，所述多个区段中的每个区段包括容座；以及多个杯体，其用于保持前驱物材料，其中所述多个杯体中的每一个杯体配置成位于所述托架的所述多个区段中的一区段的容座内。