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<p>웨이퍼 조각들과 섞여 있는 이물질을 상기 웨이퍼 조각들로부터 분리하기 위한 웨이퍼의 이물질 분리장치는, 상기 이물질 및 웨이퍼 조각들을 수용하는 분리 배스(bath)와, 상기 이물질과 웨이퍼 조각들이 잠기도록 상기 이물질과 웨이퍼 조각들이 적층된 높이 이상으로 상기 분리 배스 내부에 투입되는 비중 용액을 포함하고, 상기 비중 용액은 상기 이물질의 비중보다 높고, 상기 웨이퍼 조각의 비중보다 낮은 비중을 가져서, 상기 이물질과 상기 웨이퍼 조각이 상기 분리 배스 내부에서 비중 분리되도록 한다.</p> |
