一种自净机械真空阀

摘要

本实用新型提供一种自净机械真空阀，其包括：阀体和位于阀体内腔的阀芯。所述阀体具有一进气孔、一出气孔和两个通气孔，阀体一端连接密封盖，阀体另一端连接两个阀体固定座；所述阀体内腔两侧固定有直线轴承，所述阀芯上设有弹簧。在外界推力和弹簧的作用下，阀芯在阀体内腔内往复移动，当阀芯被施加推力时，阀芯密封进气口，真空主流通路径切断，真空副流通路径正常工作，阀体内腔残留的杂质由出气口排出；当阀芯未被施加推力时，阀芯偏离进气口和出气口，真空主流通路径接通。

主权项

一种自净机械真空阀，其包括：阀体和位于阀体内腔的阀芯；其特征在于，所述阀体具有一进气孔、一出气孔和两个通气孔，阀体一端连接密封盖，阀体另一端连接两个阀体固定座；所述阀体内腔两侧固定有直线轴承，所述阀芯上设有弹簧。