| 发明名称 |
LAMINATED MATERIALS, METHODS AND APPARATUS FOR MAKING SAME, AND USES THEREOF |
| 摘要 |
<p>PVD methods and apparatus for producing materials, for example nitrides, are disclosed as are electrode materials.</p> |
| 申请公布号 |
EP2912205(A2) |
申请公布日期 |
2015.09.02 |
| 申请号 |
EP20130779559 |
申请日期 |
2013.10.16 |
| 申请人 |
NITRIDE SOLUTIONS INC. |
发明人 |
BRORS, DANIEL;CLARK, RICHARD;DEMARAY, RICHARD;SLUTZ, DAVID |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/22;C23C14/32;C23C14/56;H01J27/04;H01J37/08;H01J37/317 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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