用于激光系统的聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置

摘要

一种用于激光系统（10）的聚焦物镜（12）的能移动的重量补偿悬架的装置，包括：力产生装置，该力产生装置用于产生抵消所述聚焦物镜（12）的重力的反作用力分量（G）；传动装置，该传动装置将所述反作用力分量（G）传递到所述聚焦物镜（12）上并允许所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动；引导装置，该引导装置用于能移动地引导所述聚焦物镜，以使在所述聚焦物镜（12）的向上/向下补偿运动期间所述聚焦物镜的光学轴线（O）至少保持其在空间的方位并优选地保持所述聚焦物镜的光学轴线（O）在空间的位置。

主权项

一种激光系统(10)，包括：‑激光辐射源；‑聚焦物镜(12)，该聚焦物镜用于使所述激光辐射聚焦，所述聚焦物镜具有光学轴线(O)；‑接口单元，该接口单元被布置在所述聚焦物镜的辐射出口侧上，并包括对于所述激光辐射能穿透的接触元件，所述接触元件放置在将使用所述激光辐射在其上工作的对象上；‑用于所述聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置，该装置具有含有两个摇杆臂的摇杆，所述摇杆被支撑在所述激光系统的壳体构件上以使所述摇杆能围绕摇杆轴线(X)被转动，所述聚焦物镜被支撑在所述摇杆臂中的一个上以使所述聚焦物镜能围绕平行于所述摇杆轴线的转动轴线相对于所述摇杆旋转，力产生装置作用在另一摇杆臂上用于产生抵消所述聚焦物镜的重量的反作用力分量，所述力产生装置包括配重(16)，该配重的质量用于补偿所述聚焦物镜的至少大部分的重量，所述装置还具有用于沿所述聚焦物镜的所述光学轴线能直线移动地引导所述聚焦物镜的引导装置，其中所述引导装置被设置为引导所述聚焦物镜，以使在所述聚焦物镜(12)的向上/向下补偿运动的情况下，所述聚焦物镜的光学轴线保持其在空间的方向和位置。