发明名称 | 感光性树脂组合物 | ||
摘要 | 一种感光性树脂组合物,在形成有电极的基板上形成包含所述感光性树脂组合物的薄膜,接着以使所述电极的表面露出的方式通过光刻法在所述薄膜形成开口,形成开口后的所述电极的表面自由能的极性分量的值为15mN/m以上。 | ||
申请公布号 | CN104880908A | 申请公布日期 | 2015.09.02 |
申请号 | CN201510088181.2 | 申请日期 | 2015.02.26 |
申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 山下和贵;井上裕康;三木雅之;河西裕 |
分类号 | G03F7/027(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G02F1/1335(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/027(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 葛凡 |
主权项 | 一种感光性树脂组合物,在形成有电极的基板上形成包含所述感光性树脂组合物的薄膜,接着以使所述电极的表面露出的方式通过光刻法在所述薄膜形成开口,形成开口后的所述电极的表面自由能的极性分量的值为15mN/m以上。 | ||
地址 | 日本国东京都 |