一种薄膜气体传感器

摘要

一种薄膜气体传感器，使用一种可以吸收空气中特定种类气体分子的选择性吸收薄膜，将一束可调谐波长泵浦光聚焦到该膜上，泵浦光的波长调到特定气体分子的吸收波长上，气体分子会因为吸收泵浦光而产生热量从而在选择性吸收薄膜以及邻近的媒介中产生温度梯度，再让一束检测光通过温度梯度，检测光会产生偏转或者散焦，根据检测光探测器探测到的偏转或者散焦量的大小来推断气体的含量。本发明采用了光谱检测的方式，可以选择几种气体分子分别合适的谱线，使得这几种谱线相互错开，克服了传统检测电信号的传感器由于无法区分不同气体分子信号导致的选择性差的问题。

主权项

一种薄膜气体传感器，包括泵浦光源(1)、分束镜(2)、光强探测器(3)、A/D转换模块(4‑1)和主机(4)，分束镜(2)置于泵浦光源(1)出射泵浦光(1‑1)的光路上，所述分束镜(2)反射光路前放置光强探测器(3)，光强探测器(3)通过A/D转换模块(4‑1)连接主机(4)，其特征在于：还包括斩波器(5)、聚焦透镜(6)、选择性吸收薄膜(7)、基底(7‑2)、检测光源(8)、检测光探测器及放大器模块；其中：所述选择性吸收薄膜(7)置于基底(7‑2)上；所述分束镜(2)透射光路依次放置斩波器(5)、聚焦透镜(6)和选择性吸收薄膜(7)；检测光源(8)出射的检测光(8‑1)经过选择性吸收薄膜(7)及其附近区域后到达检测光探测器；检测光探测器通过放大器模块连接主机(4)。