用于将材料分配到基板上的方法和装置

摘要

一种分配装置，包括框架，与该框架连接的支座，与该框架连接的门架，与该门架连接的第一分配单元，与该门架连接的第二分配单元，以及与该框架和该门架之一连接的成像系统。该成像系统可以设置为捕获第一图案和第二图案的至少一个图像，其中该第二图案与该第一图案相同。该分配装置进一步包括控制器，其设置为基于所述至少一个捕获的图像来检验该第一图案和该第二图案是否相对于彼此适当地定位在支座上，以允许第一分配单元在第一图案上以及第二分配单元在第二图案上同时进行分配操作。其他分配的实施例和方法进一步被公开。

主权项

一种分配装置，包括：框架；支座，其与所述框架连接并设置成支撑至少一个电子基板；门架，其与所述框架连接；第一分配单元，其与所述门架连接，所述第一分配单元设置为分配材料；第二分配单元，其与所述门架连接，所述第二分配单元设置为分配材料；成像系统，其与所述框架和所述门架之一连接，所述成像系统设置为捕获第一图案和第二图案的至少一个图像，所述第二图案与所述第一图案相同；以及控制器，其设置为基于所述至少一个捕获的图像来检验所述第一图案和所述第二图案是否相对于彼此适当地定位在所述支座上，并设置为使所述第一分配单元在所述第一图案上以及所述第二分配单元在所述第二图案上同时进行分配操作。