| 发明名称 | 一种光学薄膜元件热变形的检测光路 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光学薄膜元件热变形的检测光路，包括由固体激光器形成的辐照光路和由He-Ne激光器形成的入射光路，He-Ne激光器起由近至远分别设置有准直透镜、扩束透镜、光学窗口和第二导光反射镜，倾斜的第二导光反射镜通过与其平行的第一导光反射镜将光束传输到由相互平行反射腔镜和光斑腔镜形成的光腔中；固体激光器起由近至远分别设置有耦合聚焦镜片组，能量光纤和整形镜片组，经过整形镜片组的光束倾斜入射到光学窗口中。本实用新型低功率光路和高功率光路相互独立，避免了辐照光路对入射光路的交互影响，本实用新型适用范围广，可以实现对各类光学薄膜元件和光学基底热变形对光束的调制检测。 | ||
| 申请公布号 | CN204612671U | 申请公布日期 | 2015.09.02 |
| 申请号 | CN201420671771.9 | 申请日期 | 2014.11.12 |
| 申请人 | 核工业理化工程研究院 | 发明人 | 刘丽娜;陈志理;张元芫;安振杰 |
| 分类号 | G01B11/16(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津市宗欣专利商标代理有限公司 12103 | 代理人 | 胡恩河 |
| 主权项 | 一种光学薄膜元件热变形的检测光路，包括由固体激光器(1)形成的辐照光路和由He‑Ne激光器(12)形成的入射光路，其特征在于：He‑Ne激光器(12)起由近至远分别设置有准直透镜(11)、扩束透镜(10)、光学窗口(9)和第二导光反射镜(8)，倾斜的第二导光反射镜(8)通过与其平行的第一导光反射镜(7)将光束传输到由相互平行反射腔镜(5)和光斑腔镜(6)形成的光腔中；固体激光器(1)起由近至远分别设置有耦合聚焦镜片组(2)，能量光纤(3)和整形镜片组(4)，经过整形镜片组(4)的光束倾斜入射到光学窗口(9)中。 | ||
| 地址 | 300180 天津市河东区津塘路168号 | ||