压电薄膜元件的制造方法、压电薄膜元件以及压电薄膜元件用部件

摘要

提供一种具有表面形态良好、结晶性优异的压电薄膜层的压电薄膜元件的制造方法。压电薄膜元件的制造方法包括：在基板(1)上形成下部电极层(2)的工序；在下部电极层(2)上，以相对较低的成膜温度来形成压电薄膜缓冲层(3)的工序；在压电薄膜缓冲层(3)上，以比压电薄膜缓冲层(3)的成膜温度高的成膜温度来形成压电薄膜层(4)的工序；以及在压电薄膜层(4)上形成上部电极层的工序。

主权项

一种压电薄膜元件的制造方法，是具备在基板上按照下部电极层、压电薄膜缓冲层、压电薄膜层、以及上部电极层的顺序进行层叠的构造的压电薄膜元件的制造方法，该压电薄膜元件的制造方法包括：在基板上形成下部电极层的工序；在上述下部电极层上，以比上述压电薄膜层的成膜温度低的成膜温度来形成压电薄膜缓冲层的工序；在上述压电薄膜缓冲层上，以比上述压电薄膜缓冲层的成膜温度高的成膜温度来形成压电薄膜层的工序；以及在上述压电薄膜层上形成上述上部电极层的工序，通过溅射法来进行上述压电薄膜缓冲层以及上述压电薄膜层的形成，在形成上述压电薄膜缓冲层以及上述压电薄膜层时，使用相同的靶子，上述压电薄膜缓冲层的成膜温度是不至于导致压电薄膜缓冲层结晶化的温度，上述压电薄膜层的成膜温度是使上述压电薄膜缓冲层以及上述压电薄膜层结晶化的温度。