一种对导轨耦合误差的补偿方法

摘要

本发明公开了一种导轨耦合误差的补偿方法，通过采用两个位移测量装置对滑台上两固定距离的测量点的Y轴位置进行测量，从而得到在多个测量点的滑台相对于初始位置的偏转角度以及位移量，最终采用偏转角度和位移量对导轨运动进行补偿，实现了导轨的耦合误差检测和补偿，提高导轨精度；本发明通过采用激光干涉仪或者激光位移传感器配合平面镜，对滑台两点的位移量进行测量，进一步提高测量精确度；本发明通过采用对滑台进行多位置测量，得到偏转角度和位移量的拟合曲线，并采用两曲线对导轨运动进行补偿，使得补偿曲线更接近真实的导轨误差，从而提高导轨位置精度。

主权项

一种导轨耦合误差的补偿方法，其特征在于，包括如下步骤：A、在导轨的滑台上固定微动平台，将被驱动物放置在微动平台上；B、驱动滑台从导轨的初始位置开始运动，令滑台在初始位置的几何中心为原点，滑台在初始位置的运动方向为x轴，与x轴垂直方向为y轴；在滑台运动过程中设置N个测量位置，在每个测量位置，采用两个固定放置的位移测量装置，分别对滑台上相距为L的两点在y轴方向相对于初始位置的位移量进行测量；其中N为大于0的整数；C、然后根据两点的位移量以及两点距离L计算得到在该测量位置滑台相对于x轴的偏转角度，以及此时滑台几何中心相对于初始位置在y轴方向上的位移量；D、统计所有测量位置上滑台的偏转角度和几何中心的位移量，进行曲线拟合，得到滑台的偏转角度曲线和几何中心位移量曲线；E、将滑台的偏转角度曲线和位移量曲线取反后输入到微动平台，使其对被驱动物的运动进行耦合误差补偿；所述两个位移测量装置采用两个激光干涉仪、两个激光位移传感器或者一个激光位移传感器和一个激光干涉仪；在所述步骤B中，采用平面镜固定在滑台上，控制激光干涉仪或者激光位移传感器向平面镜发射激光光束，在平面镜随滑块移动过程中分别对两束激光在平面镜上的投射点沿y轴方向的位移进行测量，从而实现对滑台在y轴方向的位移量的测量。