基板保持架、电镀装置以及电镀方法

摘要

本发明提供能够对多个种类的基板供电的基板保持架、以及具备该基板保持架的电镀装置。本发明的基板保持架具有构成为能够对具有不同特征的基板供电的第一供电部件以及第二供电部件。第一供电部件具有朝向基板保持面的内侧延伸并且配置在基板保持面的第一位置上的第一供电部件端部。第二供电部件具有朝向基板保持面的内侧延伸并且配置在基板保持面的第二位置上的第二供电部件端部。第一位置相对于第二位置位于基板保持面的中心侧。

主权项

一种基板保持架，其用于对基板进行保持，所述基板保持架的特征在于，具有：基板保持面，其用于保持所述基板；以及第一供电部件以及第二供电部件，它们构成为能够向具备不同特征的基板供电，所述第一供电部件具有朝向所述基板保持面的内侧延伸并且配置在所述基板保持面的第一位置上的第一供电部件端部，所述第二供电部件具有朝向所述基板保持面的内侧延伸并且配置在所述基板保持面的第二位置上的第二供电部件端部，所述第一位置相对于所述第二位置位于所述基板保持面的中心侧。