发明名称 ターボ分子ポンプ
摘要
申请公布号 JP5772994(B2) 申请公布日期 2015.09.02
申请号 JP20140003051 申请日期 2014.01.10
申请人 发明人
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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