光学元件表面灰尘位置测试方法及装置

摘要

本发明涉及一种光学元件表面灰尘位置测试方法及装置，该测试装置包括激光器、取样单元以及测试单元；激光器、取样单元以及测试单元设置在同一光路上。本发明提供了一种具有定位准确，工作效率高，自动化程度高，使用方便的光学元件表面灰尘位置测试方法及装置。

主权项

一种光学元件表面灰尘位置测试方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：1)对待测光学元件的表面注入激光；2)监测激光通过待测光学元件后是否产生衍射环确定待测光学元件表面是否有灰尘，若有衍射环，则进行步骤3)；若没有衍射环，则结束测试过程；3)通过判读软件判读衍射环中心与所在整个光斑的位置确定待测光学元件表面灰尘的坐标位置：所述待测光学元件是多个，所述步骤3)的具体实现方式是：3.1)调整监测面与待测光学元件之间的距离；3.2)观察监测面上衍射环的变化情况；当衍射环逐渐变小时，监测面逐渐靠近灰尘所落待测光学元件表面；当衍射环消失时，监测面与灰尘所落光学元件表面重合；3.3)通过判读软件判读监测面上衍射环所在整个光斑的位置确定待测光学元件表面灰尘的坐标位置。