试剂分配装置及输送方法

摘要

本发明涉及试剂分配装置及输送方法，且具体来说涉及一种气相或液相试剂分配装置，其可用于分配气相或液相试剂，例如用于在半导体材料和器件的制造中沉积材料的前驱体。本发明减少了支持不同应用所需的容器设计数目。依据本发明，不带导管的标准双端口容器可通过在其中一个端口和相应的阀之间插入垫圈/导管连接器而转换为能在需要导管(即输送气体用的鼓泡器导管或输送液体用的汲取管)的应用中使用的容器。

主权项

一种气相试剂分配装置，包括：器皿，所述器皿包括顶壁部件、侧壁部件和底壁部件，所述顶壁部件、侧壁部件和底壁部件构造成能够形成内部器皿室，以保持高至灌装线的源化学品，并额外地限定出灌装线之上的内部气体空间；所述顶壁部件具有第一面密封端口开口、第二面密封端口开口以及任选的一个或多个其他面密封端口开口；所述第一面密封端口开口具有与其相连的载气供应入口接头；连接器，所述连接器包括连接至导管的金属面密封垫圈，该导管延伸通过第一面密封端口开口和所述内部气体空间而进入该源化学品，并且通过该导管能够将载气鼓入源化学品中，以使得源化学品蒸气的至少一部分被带入所述载气中，从而产生至灌装线之上的所述内部气体空间的气相试剂流，所述导管具有邻近第一面密封端口开口的入口端和邻近底壁部件的出口端；所述第一面密封端口开口和所述载气供应入口接头具有相对的表面，其中，所述相对的表面并不互相接触；所述金属面密封垫圈与所述第一面密封端口开口和所述载气供应入口接头的所述相对的表面对准并接触；紧固部件，用于通过所述相对的表面和所述金属面密封垫圈将载气供应入口接头固定到所述第一面密封端口开口；以及所述第二面密封端口开口具有与其相连的气相试剂出口接头，通过气相试剂出口接头能够从所述装置分配所述气相试剂。