一种应用于背向式激光内刻微通道的吸附加工装置

摘要

一种应用于背向式激光内刻微通道的吸附加工装置，该装置包括底座、进气分气管、排气管连接器；待加工样品片的下表面完全覆盖住方形凹槽，使方形凹槽形成一密闭空间。下侧进气管道的中心管道处通入压缩空气，压缩空气一部分沿着管道排出，另一部分进入大方形凹槽；在细管道的个水平出气口处形成负压，对待加工样品片产生一个均匀向下的吸附力，在吸附力的作用下待加工样品片被固定在大方形凹槽的上方；在负压的作用下使腔内的气体形成流场，针对背向式激光内刻微通道而言在负压及气流流场的作用下又能够同时吸附走加工过程中所产生的高温气体、残渣，对形成内壁光滑的微通道而言具有重要意义。

主权项

一种应用于背向式激光内刻微通道的吸附加工装置，其特征在于：该装置包括底座(1)、进气分气管(2)、排气管连接器(3)；底座(1)是一个中心开有大方形凹槽(11)的方形柱状体，大方形凹槽(11)的周边对称设有有通孔(12)，三个并行的通孔(12)组成一组并设在每个大方形凹槽(11)的侧边；该大方形凹槽(11)的底面中心还设有一个小方形凹槽(13)，该小方形凹槽(13)中心设有一个圆形通孔(14)；底座(1)的上表面四角处设有四个直通下表面的柱形沉头孔(15)，通过四个柱形沉头孔(15)将底座(1)固定；待加工材料置于底座(1)的上表面并覆盖大方形凹槽(11)；进气分气管(2)包括下侧进气管道、管道连接器(22)、方形突触(23)、小管(24)、球形腔体(25)；下侧进气管道包括中心管道(211)、粗管道(212)、细管道(213)；下侧进气管道的中心管道(211)设置在下侧进气管道中间位置，中心管道(211)与四个轴向均匀对称布置粗管道(212)连接，每个粗管道(212)上设有三个细管道(213)；细管道(213)与方形凹槽(11)周向的通孔(12)的中心轴线重合；细管道(213)的拐弯处与中心管道顶部分别设有管道连接器(22)；小管(24)一端通过管道连接器(22)与中心管道(211)连接；小管(24)的另一端为中心对称型球形腔体(25)；所述球形腔体(25)上开有环形小孔；中心管道(211)上设有与中心管道(211)管径相同的方形突触(23)；方形突触(23)与小方形凹槽(13)相配合；排气管连接器(3)包括转接口(31)、通气口(32)；转接口(31)上设有三个与通孔(12)对应的排气孔；各排气孔与一个通气口(32)相连；所述排气孔与通气口(32)连接处为圆锥曲面结构；通过该圆锥曲面结构的内壁可有效避免了三个同时进入排气管道气体的回流、阻碍现象产生，有效促进了气体的排出；同时，也为底座的通孔(12)与下侧进气管道的细管道(213)处形成稳定负压提供了保障。