一种用于晶体硅制备的高纯氢生产设备及工艺

摘要

本发明公开了一种用于晶体硅制备的高纯氢生产设备及工艺，其中，高纯氢生产设备包括控制装置、甲醇水储存输送装置及至少三组甲醇水重整制氢模组，控制装置与甲醇水储存输送装置及每一组甲醇水重整制氢模组均电性连接，以控制甲醇水储存输送装置及各组甲醇水重整制氢模组的工作状态；各组甲醇水重整制氢模组制得的氢气通过输送管道直接传送给晶体硅制备系统，控制装置根据晶体硅制备系统的高纯氢需求量信息控制适当数量的甲醇水重整制氢模组运转。本发明模块化高，单一模块体积小、启动快速，无需要贮氢罐、能即时制氢及快速分离出氢气，稳定性好，智能化高，制氢温度、气体流量及气压等方面参数控制灵敏，安全性高、可靠性强。

主权项

一种用于晶体硅制备的高纯氢生产设备，其特征在于：包括控制装置、甲醇水储存输送装置及至少三组甲醇水重整制氢模组，所述控制装置与甲醇水储存输送装置及每一组甲醇水重整制氢模组均电性连接，以控制甲醇水储存输送装置及各组甲醇水重整制氢模组的工作状态；所述各组甲醇水重整制氢模组制得的氢气通过输送管道直接传送给晶体硅制备系统，该晶体硅制备系统在晶体硅制备的过程中，将即时高纯氢需求量反馈给控制装置，该控制装置根据晶体硅制备系统的高纯氢需求量信息控制适当数量的甲醇水重整制氢模组运转，并控制甲醇水储存输送装置向运转的甲醇水重整制氢模组输送甲醇和水原料。