发明名称 喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机
摘要 本发明公开一种喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机,用于清洁一涂布机喷嘴(101),该喷嘴清洁装置包括清洁器(402)、抽真空管道(403)与真空泵(404),该清洁器(402)具有一形状与该涂布机喷嘴(101)相吻合的凹孔(4021),供该涂布机喷嘴(101)容纳于该凹孔(4021)中,该凹孔(4021)的内壁开设有多个通孔(4022);该抽真空管道(403)的一端与该多个通孔(4022)连接,该抽真空管道(403)的另一端接入该真空泵(404)。通过本发明提供的喷嘴清洁装置可方便地去除残留的光刻胶以清洁喷嘴,有效地提高产品的成品率以及生产效率,且无需使用昂贵的纳米材料,成本低廉。
申请公布号 CN103041943B 申请公布日期 2015.09.02
申请号 CN201310008969.9 申请日期 2013.01.10
申请人 深圳市华星光电技术有限公司 发明人 张岳妍;黄文德;朱厚毅
分类号 B05B15/02(2006.01)I;B05C5/02(2006.01)I;B05C11/00(2006.01)I 主分类号 B05B15/02(2006.01)I
代理机构 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 代理人 蔡晓红;林俭良
主权项 一种喷嘴清洁装置,用于清洁一涂布机喷嘴(101),其特征在于,所述喷嘴清洁装置包括清洁器(402)、抽真空管道(403)与真空泵(404),所述清洁器(402)具有一形状与所述涂布机喷嘴(101)相吻合的凹孔(4021),供所述涂布机喷嘴(101)容纳于所述凹孔(4021)中,且所述涂布机喷嘴(101)与所述凹孔(4021)之间紧密贴合,所述凹孔(4021)的内壁开设有多个通孔(4022),所述通孔(4022)与所述涂布机喷嘴(101)中的内管道(1012)相互错开;所述通孔(4022)开设在所述凹孔(4021)内壁的底部和凹孔(4021)内壁的两侧,所述抽真空管道(403)的一端与所述通孔(4022)连接,所述抽真空管道(403)的另一端接入所述真空泵(404),所述清洁器(402)为橡胶材质。
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