一种基片传输装置

摘要

本发明公开了一种基片传输装置。为了解决现有的基片接触式传输系统平稳性和可靠性不高的问题，所述基片传输装置包括磁轨，悬浮于磁轨上方的承载基片用的基片载体，位于基片载体至少一侧的由驱动装置驱动转动的传动轮，所述传动轮与基片载体侧壁之间具有间隙；周向装有磁铁的所述传动轮驱动至少一侧面上装有磁铁的所述基片载体沿磁轨的长度方向移动。本发明采用非接触式全自动传送，确保基片可以平稳、快速的在各工艺腔室内的传送，同时不会造成颗粒污染。

主权项

一种基片传输装置，包括磁轨（3），悬浮于磁轨（3）上方的承载基片用的基片载体（2），位于基片载体（2）至少一侧的由驱动装置驱动转动的传动轮（1），所述传动轮（1）与基片载体（2）侧壁之间具有间隙；周向装有磁铁（101）的所述传动轮（1）驱动至少一侧面上装有基片载体侧方永磁体（202）的所述基片载体（2）沿磁轨（3）的长度方向移动；所述磁轨（3）为两排平行布置的磁体；所述基片载体（2）下侧面设有与磁轨（3）上侧面磁极相同的基片载体底部磁体（201）；其特征在于，所述磁轨（3）的纵截面呈等腰梯形，所述基片载体底部磁体（201）呈倒U形，所述磁轨（3）与基片载体（2）的U型永磁体对中布置，且倒U形开口两端磁极相同并向内倒角。