发明名称 SiC单晶的制造方法
摘要 抑制每个制造批次的晶种的溶液接触位置的偏差,得到重复性好的高质量的SiC单晶。SiC单晶的制造方法,其是使由支持棒支持的SiC晶种与高频加热的溶液接触从而使SiC单晶生长的SiC单晶的制造方法,其中,在施加于所述溶液的磁场的存在下,使所述支持棒下降,使SiC晶种与所述溶液接触,随后停止所述磁场的施加而使SiC单晶生长。
申请公布号 CN104884683A 申请公布日期 2015.09.02
申请号 CN201380068222.0 申请日期 2013.11.11
申请人 丰田自动车株式会社 发明人 大黑宽典;坂元秀光;加渡干尚;楠一彦
分类号 C30B29/36(2006.01)I 主分类号 C30B29/36(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 李英
主权项 SiC单晶的制造方法,其是使由支持棒支持的SiC晶种与高频加热的溶液接触从而使SiC单晶生长的SiC单晶的制造方法,其中,在施加于所述溶液的磁场的存在下,使所述支持棒下降,使SiC晶种与所述溶液接触,随后停止所述磁场的施加而使SiC单晶生长。
地址 日本爱知县