EXTREME UV RADIATION GENERATING DEVICE COMPRISING A CORROSION-RESISTANT MATERIAL

摘要

본 발명은 플라즈마 발생 부분으로의 및 그 부분으로부터의 덜 오염된 주석 흐름을 제공할 수 있는 극자외선 방사 발생 장치를 제공하기 위해, 액체 주석에 대해 코팅된 공급 파이프를 갖는 개선된 EUV 발생 장치에 관한 것이다.